工程單位
測(cè)量氣體流量和相關(guān)的累積器數(shù)據(jù)，可以通過前面板
按鍵或者數(shù)字接口指令直接設(shè)置工程單位。支持下列測(cè)量
單位：百分比、mL/min、mL/hr、 scfm、scfh、 sL/min、
sL/hr、 lbs/hr、 bs/min以及一個(gè)用戶定義的測(cè)量單位。
多氣體校準(zhǔn)
DFM可存儲(chǔ)最多10種氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。也可以在氣體比
例精確的條件下進(jìn)行多氣體校準(zhǔn)。
轉(zhuǎn)換系數(shù)
DFM最多可存儲(chǔ)32種氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)，而且用戶可自定
義轉(zhuǎn)換系數(shù)，轉(zhuǎn)換系數(shù)可以通過按鍵或數(shù)字接口指令從任何
十種氣體校準(zhǔn)數(shù)據(jù)中轉(zhuǎn)換。